気相エピタキシー きそうエピタキシー Meanings Noun vapor phase epitaxy; VPE; vapor phase epitaxial growth See also: 気相エピタキシャル成長 (きそうエピタキシャルせいちょう). Kanji 気 spirit. Read as キ. 相 mutual. Read as ソウ. Jinuma: Japanese Dictionary · Word lists